Name: Control-oriented modeling and feedback control of reactive sputtering
SKU: 9783752671056
Price: 103.70 EUR
Availability: SoldOut

Control-oriented modeling and feedback control of reactive sputtering

Christian Wölfel

103,70 €

Books on Demand
Sivumäärä: 288 sivua
Asu: Kovakantinen kirja
Julkaisuvuosi: 2021, 03.03.2021 (lisätietoa)
Kieli: Englanti

Tuotteella ei tuotekuvausta.

Loppuunmyyty

Myymäläsaatavuus

Helsinki

Tapiola

Turku

Tampere

Control-oriented modeling and feedback control of reactive sputtering

Näytä kaikki tuotetiedot

ISBN:

9783752671056

Asiasanat:

Reactive sputter process Feedback control systems Multipole Resonance Probe (MRP) Plasma-based control Thin film deposition

Aihealue:

Ulkomaiset kirjat