Unter mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) versteht man Anordnungen von Sensoren und Aktuatoren, die durch Mikroschaltkreise gesteuert werden und auf Änderungen der Umgebungsbedingungen reagieren können. Die Integration von MEMS in traditionelle Hochfrequenzschaltkreise führte zu flexiblen, hochleistungsfähigen, dabei aber preiswerten Systemen. Diesem ausgesprochen interdisziplinär angelegten Buch entnehmen Sie die aktuellsten Erkenntnisse auf diesem zunehmend wichtigen Gebiet. Besprochen werden auch Anwendungen von MEMS in drahtlosen und Bluetooth-fähigen Systemen.