|
|

avaa valikko

Bonding in Microsystem Technology
137,30 €
Springer-Verlag New York Inc.
Sivumäärä: 334 sivua
Asu: Kovakantinen kirja
Julkaisuvuosi: 2006, 13.06.2006 (lisätietoa)
Kieli: Englanti
Tuotesarja: Springer Series in Advanced Microelectronics 24
Bonding in Microsystem Technology starts with descriptions of terminology, kinds of microsystems and market analysis. Followed by the presentation of mechanisms of wet etching, set of process parameters, description of micromachining methods, examples of procedures, process flow-charts and applications of basic micromechanical structures in microsystems are shown. Next, high-temperature, low temperature and room-temperature bonding and their applications in microsystem technology are presented. The following part of the book contains the detailed description of anodic bonding, starting from analysis of properties of glasses suitable for anodic bonding, and discussion of the nature of the process. Next all types of anodic bonding and sealing procedures used in microsystem technology are presented. This part of the book finishes with examples of applications of anodic bonding in microsystem technology taken from the literature but mainly based on the author’s personal experience.

LISÄÄ OSTOSKORIIN
Tuotetta lisätty
ostoskoriin kpl
Siirry koriin
Tilaustuote

Tilaustuote

Tämän tuotteen tilaamme kustantajalta tai tukkurilta varastoomme. Saatavuusarvio on tuotekohtainen. Lähetämme toimitusvahvistuksen heti, kun tuote on toimitettu varastoltamme rahdinkuljettajalle.

Arvioimme, että tuote lähetetään meiltä noin 3-4 viikossa
Myymäläsaatavuus
Helsinki
Tapiola
Turku
Tampere
Bonding in Microsystem TechnologySuurenna kuva
Näytä kaikki tuotetiedot
ISBN:
9781402045783
Kansikuva tuotteelle